برنامه تمیز کردن

ایده

1- اهمیت تمیز کردن

در صنعت تولید، دستیابی به کیفیت بالا، جریان بالا، تولید بالا و موجودی پایین بسیار مهم است.

با افزایش محبوبیت اینترنت، فناوری های ارتباطی و فناوری های پردازش اطلاعات، به ویژه برای تجهیزات تولید نیمه هادی و دقت بالای سیستم های تولید، اهمیت فرایند تمیز کردن واضح است.

فرایند تمیز کردن برای افزایش ارزش کسب و کار مشتری بسیار مهم است.

2. برنامه تمیز کردن فناوری های پیشرفته هیتاچی

[حذف ذرات و آلودگی]
در طول سال ها، شرکت ما به تولید تجهیزات تولید نیمه هادی، ابزار تجزیه و تحلیل دقیق و غیره اختصاص داده است.

[تجزیه و تحلیل مواد آلوده]
بسیاری از مشتریان از میکروسکوپ های الکترونیکی تولید شده توسط شرکت ما، دستگاه های مختلف تجزیه و تحلیل و دستگاه های بررسی اجسام بیگانه استفاده می کنند.

حذف ذرات بیگانه (آلودگی)
شرکت ما سیستم های تمیز کننده از جمله فناوری تمیز کردن WET / DRY، فناوری کنترل محیط زیست را برای بسیاری از مشتریان ارائه داده است.

بر اساس این تکنولوژی و تجربه، همکاری فنی با شرکای همراه با تکنولوژی های دیجیتالی
تکنولوژی هیتاچی متعهد به ارائه بهترین راه حل برای مشکلات تمیز کردن مشتریان است.

ایجاد ارزش از طریق همکاری با مشتریان در فرآیند تمیز کردن

صرفه جویی در تکنولوژی و تجربه در شرکت بسیار مهم است. اما همه تکنولوژی ها باید در شرکت خود ایجاد شوند.

ما به نیازهای بازار با سریعترین سرعت و قیمت رقابتی پاسخ می دهیم.

حل مسئله تمیز کردن با مشتریان، فلسفه فناوری های پیشرفته هیتاچی ما است.

سیستم پشتیبانی مشتری

تکنولوژی تمیز کردن DRY

فناوری CleanLogix

هدف شرکت ما این است که با استفاده از تکنولوژی تمیز کردن خشک با بار کم محیط زیست، مشکلات تمیز کردن مشتری را حل کنیم.

نمونه های تمیز کردن در فرآیند مونتاژ لنز CMOS

② اقدامات

اتوماسیون (مثال)

تکنولوژی تمیز کردن ذرات CO2

فناوری CleanLogix

اصل تمیز کردن

مثال تمیز کردن

جوهر روغنی

لنز (اثر انگشت، جوهر روغنی)

سنسور CMOS (مواد ارگانیک)

ویژگی ها

استفاده از تکنولوژی کنترل اندازه ذرات CO2 برای تولید بهترین ذرات (0.5 تا 500 میکرومتر)

• تزریق ذرات CO2 به مواد تمیز شده با استفاده از گازهای کمکی مانند هوای خشک
• گازهای کمکی گرم شده می توانند از افشا شدن جلوگیری کنند و ذرات کوچک می توانند با آسیب های کم تمیز شوند
• ساختار نوزل ویژه می تواند قدرت شستشوی بالا و از دست دادن CO2 پایین را به دست آورد
• در مقایسه با استفاده از آب و دارو، روش تمیز کردن زیست محیطی
  (CO2 منبع بازیافت شده از گازهای خروجی است)

امتیازات اصلی

US7225819B2/US6656017B2/US6802961B2/US7601112B2/US7901540B2/US8021489B2/US5725154A/US7451941B2/US9381574B1/US9352355B1/ US9387511B1/US8197603B2/US6979362B2/TWI577452B

تکنولوژی تمیز کردن پلازما

فناوری CleanLogix

تکنولوژی پردازش سطحی دقیق با استفاده از پلازما به طور مداوم در حال تکامل است.

واکنش های اصلی هنگام درمان پلازما

ویژگی ها

1. تمیز کردن ظریف که نمی توان به تمیز کردن رطوبت دست یافت
2. تکنولوژی ICP منحصر به فرد می تواند طیف گسترده ای و غلظت بالایی از پلازما تولید کند.
3. انواع پلازما غنی برای کاربردهای مختلف

پلاسمای با اتصال ظرفیتی (Capacitively Coupled Plasma)
ICP: Plasma Inductively Coupled (پلاسمای اندوکتیو)

استفاده و اثرات دستگاه پلازما

• باقیمانده های رزین تولید شده در هنگام پردازش سوراخ های کوچک 100 تا 20 μm φ را حذف می کند
• قابل استفاده برای تمیز کردن قبل از اتصال با مواد جدید و قبل از پردازش رنگ با مواد جدید 5G مانند "LCP"، "PFA"، "PTFE"
  و افزایش چسبندگی پاکسازی پس از پاکسازی پس از پاکسازی
• کاهش زمان لازم برای گاز زدایی قطعات خلاء

LCP: Liquid Crystal Polymer
PFA: PerFluoroAlkoxy
PTFE: PolyTetraFluoroEthylene

دستگاه سری

نمونه های کاربردی

مثال حذف مواد ارگانیک

پلازما خلاء ABF (گاز CF4+O2)

حسگر اثر انگشت Descum (گاز CF4+O2)

مثال بهبود سطح

پلازما فشار اتمسفر (با استفاده از CDA)