OTL-PECVD-1200-1400-1200 سیستم سه درجه حرارتی PECVD، شامل سه کوره خلاء، اتاق خلاء کوارتز، منبع قدرت فرکانس رادیویی، سیستم تامین گاز GX، سیستم پمپ گاز، سیستم اندازه گیری خلاء، مکانیزم کشش الکتریکی است.

ویژگی های اصلی:

1، از طریق منبع انرژی رادیویی، گاز در اتاق خلاء کوارتز را به حالت یونی تبدیل کنید.

دمای پایین تر PECVD نسبت به CVD معمولی برای رسوب گاز شیمیایی

3، می تواند از طریق فرکانس منبع قدرت رادیوفرکانس برای کنترل اندازه استرس فیلم ذخیره شده

4، PECVD نسبت به CVD معمولی برای سرعت رسوب گاز شیمیایی بالاتر، یکنواختی خوب، هماهنگی و ثبات بالا است.

به طور گسترده ای در رشد فیلم های مختلف مانند SiOx، SiNx، SiOxNy و سیلیکون غیر استورتویپی (a-Si: H) استفاده می شود.

این سیستم PECVD سه درجه حرارتی یک سیستم PECVD است که می تواند به سرعت گرم و خنک شود، یک جفت ریل برقی در سه کوره لوله ای نصب شده است و سیستم برقی در دسترس است. سرعت گرمایش و خنک کردن حداکثر 100 درجه سانتیگراد در دقیقه است. برای دستیابی به سریعترین گرمایش، اجاق را می توانید از قبل به دمای تنظیم شده گرم کنید و سپس اجاق را به نمونه منتقل کنیدقرار بده برای سریعترین خنک شدن، اجاق را پس از گرمایش نمونه به سمت دیگر منتقل کنید. سرعت گرمایش و خنک کردن در محیط خلاء یا گاز بیکار10 درجه سانتیگراد در ثانیه، سیستم PECVD دو دمایی برای گرمایش سریع و خنک کننده با هزینه کم است.

این سیستم سه درجه حرارتی PECVD با سیم مقاومت Kanthal سوئد و میله کربن سیلیکون به عنوان اجزای گرمایش، با استفاده از ساختار محفظه دو لایه و 30 بخش برنامه کنترل دما، محرک فاز، کنترل سیلیکون کنترل، کوره با استفاده از مواد فیبر پلی کریستالی واردات آلومینیوم ژاپن، لوله کوره با مهر و موم فلانج فولاد ضد زنگ، فلانج فولاد ضد زنگ نصب دهان هوا، دریچهو فشار سنج، خلاء پمپ می تواند به 10-3 Pa، تقسیم دو منطقه دما، دو منطقه دما می تواند به طور مستقل کنترل، تنظیم دمای متفاوت، استفاده آسان، عملیات ساده، این اجاق دارای تعادل میدان دما، دمای سطح پایین، سرعت سریع دمای سرد، صرفه جویی در انرژی و مزایای دیگر، دانشگاه ها، موسسات تحقیقاتی، شرکت های معدن صنعتی برای سوزاندن اتمسفر دمای بالا است. محصولات ایده آل برای گره، رشد گرافن، رشد انواع فیلم های نازک.

(1) ضخامت پایان گرم میله کربن سیلیکون 14 میلی متر است، تولید کنندگان عمومی از 12 میلی متر استفاده می کنند، ضخامت پایان گرمایش، خم شدن آسان نیست، بار سطحی میله پایین است و عمر طولانی است.

（2) طول پایان سرد 210 میلی متر است، تولید کنندگان عمومی از 180 میلی متر استفاده می کنند، دمای بالای کوره سرد پایین است.

(3) سطح میله کربن سیلیکون اکسید غشاء غیر کریستالی تراکم است و می تواند از میله کربن محافظت کند.

هنگامی که مدار بیش از حد جریان یا نشت، خالی به طور خودکار قطع می شود

اجاق لوله اتمسفرامامجهز به رابط ارتباطی و نرم افزار، می تواند به طور مستقیم از طریق کامپیوتر پارامترهای مختلف اجاق را کنترل کند و می تواند از کامپیوتر برای مشاهده مقادیر دمای PV و SV اجاق و عملیات ابزار، کامپیوتر منحنی گرمایش واقعی اجاق در زمان واقعی نقاشی می شود و می تواند داده های دمای هر لحظه را ذخیره کند، در هر زمان می تواند از

(1) ، با کیفیت بالا و با کیفیت بالا و با کیفیت بالا و با کیفیت بالا و کیفیت بالا و کیفیت بالا و کیفیت بالا و کیفیت بالا و کیفیت بالا و کیفیت بالا و کیفیت بالا و کیفیت بالا
2- استفاده از تکنولوژی ژاپنی
(3) ظرفیت حرارتی مواد کوره کم، ضریب انتقال حرارتی پایین، بنابراین تخفیف گرما کمتر، عایق خوب، بازتاب بالا است. تعادل دمایی
(4) ، سیم آکسید آلومینیوم کوره نازک و طولانی، مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر افزایش گرما ظرفیت سرد قوی
(5) سطح اجاق تمیز است و پودر را به راحتی از بین نمی برد.

(تمام گواهینامه های UL)