XR-F001 میکرومتر جریان جرم گاز به طور خاص برای اندازه گیری و کنترل فرآیند انواع مختلف گازهای جریان کوچک طراحی شده است. این مجموعه از سنسورها با استفاده از تراشه های پیشرفته سنسور جریان میکرو الکترومکانیکی (MEMS) برای انواع گازهای پاک ساخته شده اند. تکنولوژی بسته بندی منحصر به فرد آن را برای انواع لوله های مختلف، هزینه پایین، نصب آسان، بدون نیاز به جبران فشار دما، می تواند جایگزین جریان سنتی حجم یا فرق فشار باشد.