کریستالاسپراتور مغناطیسی سه هدف

مدل:VTC-600-3HD

خلاصه محصول:

VTC-600-3HD سه هدف مغناطیترون اسپریتر بلهzuiتجهیزات پوشش جدید و توسعه یافته، می تواند برای آماده سازی یک لایه یا چند لایه فلز آهن الکتریکی، فلز هدایت الکتریکی، فلز آلیاژ، فلز نیمه هادی، فلز سرامیک، فلز رسانه ای، فلز نوری، فلز اکسید، فلز سخت، فلز پلی تترافلورووینیل و غیره استفاده شود. در مقایسه با تجهیزات مشابه، نه تنها به طور گسترده ای استفاده می شود، بلکه دارای مزایای حجم کوچک برای عملیات است، یک تجهیزات ایده آل برای آماده سازی فیلم مواد آزمایشگاهی است، به ویژه برای مطالعات آزمایشگاهی الکترولیت های جامد و OLED و غیره.

ویژگی های اصلی:

• قابلیت تولید فیلم های مختلف، کاربردهای گسترده
• حجم کوچک، عملیات آسان
• اتاق خلاء، پمپ خلاء طراحی ماژولار، منبع قدرت کنترل برای طراحی تقسیم شده است، می تواند با توجه به نیازهای واقعی کاربر تقاضای خرید را تنظیم کند.
• می تواند با توجه به نیازهای واقعی کاربر منبع قدرت را انتخاب کند، می تواند یک منبع قدرت کنترل چندین اسلحه هدف، همچنین می تواند چندین منبع قدرت کنترل تک اسلحه هدف

مغناطیس اسپرتر：

• سه سر اسپرتر مغنترون در دستگاه نصب شده اند و همه دارای لایه های آب خنک شده اند.
• یکی از سر های اسپرتر به منبع قدرت فرکانس رادیویی متصل شده است، عمدتا هدف عایق اسپرتر است.
• یک سر دیگر به منبع برق DC متصل است، هدف هدایت اصلی
• الزامات اندازه هدف: قطر 50 میلی متر، ضخامت 0.1-5 میلی متر (به دلیل ضخامت متفاوت مواد هدف متفاوت است)
• قابلیت سفارش کابل اتصال RF به صورت جداگانه
• این دستگاه شامل یک یخچال آب برای خنک کردن سر هدف است.

نمونه برداری：

• اندازه نمایشگاه: φ140mm (zuiدر پایه 4' قرار می گیرد)
• قابلیت چرخش دستگاه نمونه با سرعت 1 تا 20 rpm (قابل تنظیم)
• نمونه برداریzuiدمای گرمایش بالا 500 درجه سانتیگراد

فضای خلاء：

• فضای خلاء: φ300 mm × 300 mm H، ساخته شده از فولاد ضد زنگ
• پنجره مشاهده: Φ100 mm
• روش باز کردن حفره از بالا استفاده می شود تا تغییر هدف آسان تر شود

کنترل کننده جریان گاز：

• دستگاه دارای دو جریان سنج جرم با محدوده 0-100sccm است.
• تنظیم جریان گاز می تواند روی صفحه لمسی 6 اینچی کار کند
• این سیستم نیاز به گاز Ar دارد و دارای دریچه کاهش فشار در سیلندر است (شامل دستگاه نیست)

سیستم خلاء：

• پمپ مولکولی GZK-103D (آلمان)
• محدودیت استاندارد 5E-5mbar 7.4E-6mbar

ضخامت فیلم：

• یک ضخامت سنج دقیق لرزش کوارتز نصب شده بر روی ابزار برای نظارت بر ضخامت فیلم در زمان واقعی با وضوح 0.10 Å
• نمایشگر LED نمایش داده های مربوط به فیلم تولید شده را وارد می کند

اندازه محصول：

• L1300mm×W660mm H1200mm
• وزن خالص: 160 کیلوگرم

کریستالاسپراتور مغناطیسی سه هدف

مدل:VTC-600-3HD

گواهینامه کیفیت:گواهینامه CE

استفاده از راهنمایی：

• این دستگاه یک دستگاه DIY است، پارامترهای تغییر بزرگی قبل از خرید لطفا مطمئن شوید که تماس با دقت ارتباط برقرار کنید
• برای بدست آوردن کیفیت بهتر فیلم، باید به گاز خالص بالا (توصیه شده> 5N) وارد شود.
• اطمینان از تمیز کردن سر، هدف، پایه و میز نمونه قبل از پوشش
• برای رسیدن به ترکیب خوب فیلم و پایه، لطفاً سطح پایه را قبل از اسپری تمیز کنید
• تمیز کردن ماوراء صوت (برای پارامترهای دقیق روی تصویر زیر کلیک کنید): (1) ماوراء صوت استون (2) ماوراء صوت ایزوپروپانول - حذف چربی (3) خشک کردن نیتروژن (4) حذف رطوبت در کوره خلاء.
• تمیز کردن پلازما: سطح خشن می شود، می تواند پیوند شیمیایی سطحی را فعال کند و آلودگی های اضافی را حذف کند.
• ساخت یک لایه بافر نازک (حدود 5 نانومتر): مانند Gr، Ti، Mo، Ta، می تواند برای بهبود چسبندگی فلزات و آلیاژها استفاده شود.

هشدار：

• توجه: محصول دارای اجزای ولتاژ بالا در داخل نصب شده است، تجزیه و خروج شخصی ممنوع است، بدن متحرک با برق
• شیر کاهش فشار باید روی سیلندر گاز نصب شود (تجهیزات استاندارد شامل نمی شود) ، تضمین کنید که فشار خروجی گاز محدود به 0.02 مگابال است.در زیر برای استفاده ایمن
• سر اسپرتر به ولتاژ بالا متصل می شود. برای ایمنی، اپراتور باید قبل از خاموش کردن دستگاه، نمونه گیری و تعویض هدف را انجام دهد.