فیلتر های پاک کننده هوا اجزای اساسی برای فیلتر کردن گاز برای تمیز کردن گاز هستند. این قطعه می تواند در انتهای جلوی ورودی پمپ خلاء چرخشی قرار گیرد تا گاز وارد پمپ خلاء تصفیه شود، اکثر گازهای موجود در آن مانند آلودگی های ذرات مانند گرد و غبار و بخار آب را حذف کند تا از استنشاق گازهای ناپاک جلوگیری شود و مانع از کار عادی و طول عمر پمپ خلاء شود.

ورودی هوا به ظرف خلاء متصل می شود، گاز وارد بشکه گاز می شود و از طریق فیلتر داخل بشکه گاز فیلتر می شود؛ گاز پاک به سمت سه راه، خروجی هوا به پمپ خلاء متصل می شود و دستگاه پمپاژ را تشکیل می دهد. میزان خلاء سه طرفه می تواند درجه خلاء را اندازه گیری کند. چرخش پیچ آلودگی می تواند آلودگی ها را حذف کند.